반도체 8대공정 - 포토공정(3)

지난시간에 이어

 

오늘은 포토공정에 대해서 알아보기로 해요.

 

포토공정이라는 단어표현은

 

마치 밑그림을 새기는 작업이

 

사진을 현상하는 부분과 비슷하다고 해서 붙여진 이름이라고 합니다. 

 

지난시간에

 

산화막에 덮인 웨이퍼를 살펴보았죠.

 

이처럼. 산화막이 입혀진 웨이퍼 위에 회로도의 모습을 새기는 과정을

 

포토공정이라 합니다.

 

삼성반도체이야기

 

지난시간에 배운 부분을 보면.

 

실리콘 표면에 균일하게 산화막이 형성되어

 

실리콘 표면을 보호한다 하였습니다.

 

이러한 표면에 회로 패턴을 그려주게 되는데

 

회로패턴을 그리는 과정은 사람이 일일히 손으로 새길 수 없기 때문에

 

다른 방법을 사용합니다.

 

먼저 엔지니어들이 웨이퍼 위에 그려넣을 회로를 설계하겠죠.

 

보통은 컴퓨터로 회로를 그리고, 그려진 도면을 바탕으로

 

수많은 소자들이 서로 상호작용하여 반도체가 완성됩니다.

 

그다음.

 

산화막 위에

 

감광액을 뿌립니다.

 

삼성반도체 이야기

 

감광액(Photo Resist)은 빛에 민감하게 반응하는 물질로서

 

감광액에 빛을 조사하면 빛이 닿은 부분에 길이 생기는

 

특징을 지녔습니다.

 

정밀한 감광액 도포와 얇고 균일해야 하기 때문에

 

굉장히 하이테크죠...

 

반응형

 

그다음은 빛을 조사하기 위해 선택적으로

 

회로를 그려주는 과정을 위해 제작하는 일종의 JIG입니다.

 

JIG란, 원하는 물건을 제작하기 위해 특수 제작된

 

맞춤형 도구 입니다.

 

이러한 JIG를 마스크라고 불르고

 

마스크를 통해 빛을 조사하면

 

마스크가 가려주는 부분 외의 회로가 선택적으로 

 

그려집니다.

 

 

 

이런식인거죠.

 

흑백사진 인화 과정과 비슷하게 이루어집니다.

이렇게

 

선택적인 회로를 형상한 웨이퍼 역시

 

아직 부도체 입니다.

 

회로를 그려넣었다는 말은

 

전기를 통하는 상태로 만들었다는 의미가 아닙니다.

 

전기를 통하게끔 만드는 공정은 조금 더 뒤에있습니다.

 

무튼. 이렇게 회로를 그려넣는 작업을 마치고나면

 

광학 현미경을 통해서 제대로 회로가 그려졌는지를 확인하는 과정을

 

거쳐서

 

다음공정으로 들어가게 됩니다.

 

이부분은 다음시간에 포스팅하죠!